مارک: AMATتوضیحات: صفحه کنترل کننده نقطه پایانی CMPشرط: کاملاً جدیدگواهی نامه: گزارش تست COO نامه ضمانت نامهگارانتی: 1 سالموجودی qty: 3اصطلاح پرداخت: T/Tبندر حمل و نقل: شنژنAMAT 0100-77014 یک ماژول کنترل است که در تجهیزات تولید نیمه هادی استفاده می شود. این ماده به طور عمده برای پردازش سیگنال ، ارتباطات سیستم و نظارت بر فرآیند استفاده می شود. برای اطمینان از ثبات و عملکرد در زمان واقعی ، در بستر تجهیزات AMAT ادغام شده است.
| ساخت |
بسیار |
| شماره مدل |
0100-77014 |
| کشور مبداء |
ایالات متحده آمریکا |
| کد HS |
85389000 |
| بعد |
25*15*3cm |
| ابعاد بسته بندی |
27*17*5cm |
| وزن |
1 کیلوگرم |
پارامترهای فنی
ولتاژ ورودی: DC 24V ± 10 ٪
مصرف برق: 15 ≤
انزوا در برابر ولتاژ: 1500 ولت AC/1min
رابط ارتباطی: RS-232/RS-485 ، اترنت (10/100Mbps)
دمای کار: 0 درجه سانتیگراد تا 50 درجه سانتیگراد
از ورودی/خروجی آنالوگ 4-20mA پشتیبانی کنید
I/O دیجیتال: 8 کانال
فرکانس نمونه برداری: 1 کیلو هرتز
دقت: 1 /0 ٪ fs
سطح حفاظت: IP67
روش نصب: راه آهن یا پانل DIN ثابت است
ویژگی های عملکردی
1. نظارت و بازخورد فرآیند در زمان واقعی
AMAT 0100-77014 پارامترهای کلیدی مانند دما ، فشار ، سرعت جریان و غیره را در زمان واقعی از طریق ماژول دستیابی به داده های پر سرعت کنترل می کند و به صورت پویا پارامترهای فرآیند را در ترکیب با الگوریتم های داخلی تنظیم می کند تا از سازگاری پردازش ویفر اطمینان حاصل شود
ترتیب. ارتباطات اضافی و طراحی با قابلیت اطمینان بالا
0100-77014 از ارتباطات اضافی دو لینک (RS-232 + اترنت) پشتیبانی می کند ، تعویض خودکار بین دستگاه های مستر و آماده به کار ، اطمینان از عملکرد صفر خرابی AMAT 0100-77014 در 24/7 تولید مداوم
3. سازگاری چند پروتکل و ادغام سیستم
سازگار با پروتکل های صنعتی مانند DNET و MODBUS TCP ، یکپارچه به سیستم رایانه ای میزبان Amat Endura ، Centura و سایر سیستم عامل ها متصل شده است.
4. حفاظت از امنیت و پیوند زنگ خطر
AMAT 0100-77014 دارای مدار حفاظت بیش از حد ولتاژ/بیش از حد است ، برای جلوگیری از آسیب تجهیزات به دلیل شرایط غیر طبیعی ، از زنگ هشدار آستانه (صدا و نور/PLC) پشتیبانی می کند.
سناریوهای کاربردی
1. فرآیند کاشت یونی با انرژی بالا
مورد استفاده برای سیستم کنترل دوز VIISTA 3000XP/900XP Ion Imonter ، کالیبراسیون در زمان واقعی زاویه پرتو و یکنواختی دوز
2. نظارت بر رسوب فلز PVD
برای بهینه سازی میزان رسوب فیلم TIN/TI ، دمای هدف و فشار محفظه خلاء را در سکوی Endura کنترل کنید.
کنترل جریان گاز 3.CVD
یکپارچه در محفظه واکنش Centura 5200 ، به صورت پویا جریان گازهای فرآیند مانند TEOS و SIH₄ را تنظیم کنید تا از قوام ضخامت فیلم اطمینان حاصل شود
