مارک: AMATتوضیحات: کارت تخته نیمه هادیشرط: کاملاً جدیدگواهی نامه: گزارش تست COO نامه ضمانت نامهگارانتی: 1 سالموجودی qty: 9اصطلاح پرداخت: T/Tبندر حمل و نقل: شنژنبه عنوان یک کارت تخته نیمه هادی ، AMAT 0100-77040 دقت موقعیت یابی ویفرها را در هنگام انتقال با سرعت بالا تضمین می کند و از قابلیت اطمینان آب بندی خلاء از طریق تنظیم پویا فشار هوای بسته و پاسخ سیگنال در سطح میلی ثانیه اطمینان می دهد.
| ساخت |
بسیار |
| شماره مدل |
0100-77040 |
| کشور مبداء |
ایالات متحده آمریکا |
| کد HS |
85389000 |
| بعد |
12*12*2cm |
| ابعاد بسته بندی |
14*14*4cm |
| وزن |
0.5 کیلوگرم |
پارامترهای فنی
ولتاژ ورودی: 100-240 ولت AC
رابط ارتباطی: اترنت ، RS-485 (
دامنه دمای کار: -10 ℃ تا +60
سطح حفاظت: IP20
زمان پاسخ: ≤5ms
فشار پنوماتیک سازگار: 0.5-1.0mpa
زندگی مکانیکی: 1 میلیون چرخه
ویژگی های عملکردی
1. کنترل درایو پنوماتیک با دقت بالا
AMAT 0100-77040 از فناوری بازخورد حلقه بسته برای تنظیم درجه باز و بسته شدن و فشار فشار دریچه های پنوماتیک در زمان واقعی استفاده می کند تا از دقت سطح میلی متر از اقدامات محرک مانند ویفر بازوهای رباتیک و مهر و موم های محفظه و کاهش خطر آسیب ویفر اطمینان حاصل کند.
5. ادغام ارتباطات صنعتی چند پروتکل
0100-77040 از پروتکل های اترنت ، RS-485 و Devicenet برای دستیابی به اسکله یکپارچه با سیستم های کنترل اصلی AMAT Centura ، Endura و سایر سیستم عامل ها پشتیبانی می کند. AMAT 0100-77040 می تواند به طور همزمان داده های وضعیت تجهیزات را به واحد نظارت مرکزی منتقل کند تا سطح اتوماسیون کل دستگاه بهبود یابد.
3. ضد مداخله و خود تشخیص گسل
مدار محافظ الکترومغناطیسی داخلی و طراحی مدار اضافی می تواند به طور مؤثر در برابر تداخل فرکانس رادیویی (RFI) و نوسانات منبع تغذیه مقاومت کند. این عملکرد در زمان واقعی تشخیص خطای در زمان واقعی است که می تواند در هنگام غیر طبیعی ، هشدارهای صدا و نور را ایجاد کند و کدهای خطا را ضبط کند و چرخه نگهداری را کوتاه کند.
4 استقرار سریع مدولار
AMAT 0100-77040 یک ساختار نصب اسلات استاندارد را تصویب می کند ، سازگار با واحد پنوماتیک سر تجهیزات مانند AMAT P5000 و سیستم عامل کاشت یونی VIISTA ، از تعویض سوپ گرم پشتیبانی می کند و به طور قابل توجهی کاهش می یابد تا زمان خرابی تجهیزات را کاهش دهد
سناریوهای کاربردی
سیستم انتقال ویفر: برای دستیابی به انتقال ویفر با سرعت بالا بین محفظه خلاء و قفل بار (مانند تجهیزات PVD/CVD) ، گیربکس پنوماتیک بازوی روباتیک را هدایت کنید.
کنترل آب بندی محفظه فرآیند: شیر دروازه (شیر شکاف) را تنظیم کنید تا حالت جداسازی خلاء محفظه اچینگ/رسوب حفظ شود
