مارک: AMATتوضیحات: صفحه رابطشرط: کاملاً جدیدگواهی نامه: گزارش تست COO نامه ضمانت نامهگارانتی: 1 سالموجودی qty: 5اصطلاح پرداخت: T/Tبندر حمل و نقل: شنژنبه عنوان یک صفحه رابط ، AMAT 0100-20004 می تواند با در نظر گرفتن ثبات فرآیند و راندمان ادغام سیستم ، تعامل داده ها و نظارت بر زمان واقعی را در بین ماژول های مختلف تحقق بخشد.
| ساخت |
بسیار |
| شماره مدل |
0100-20004 |
| کشور مبداء |
ایالات متحده آمریکا |
| کد HS |
85049020 |
| بعد |
20*12*2cm |
| ابعاد بسته بندی |
20*14*4cm |
| وزن |
0.7 کیلوگرم |
ولتاژ ورودی: 100-240 ولت AC
ولتاژ خروجی: 24 ولت DC
رابط ارتباطی: اترنت (10/100Base-T) ، RS-485 (نرخ Baud 9600–115200bps)
دمای کار: -10 ℃ تا 60
میزان نمونه برداری داده ها: 100 هرتز
سطح حفاظت: IP20
روش نصب: راه آهن یا اصلاح پیچ را راهنمایی کنید
دامنه ورودی: -10V تا +10V
کانال دیجیتال: 16 ورودی/خروجی جدا شده (پشتیبانی از سطح TTL/CMOS)
پشتیبانی پروتکل: Modbus TCP ، DNET
ویژگی های عملکردی
1. مرکز مسیریابی سیگنال چند سیستم
AMAT 0100-20004 ، به عنوان صفحه اتصال اصلی ، عملکرد مسیریابی سیگنال با چگالی بالا را برای دستیابی به تعامل داده های یکپارچه بین کنترل کننده محفظه ، سنسور و واحد کنترل اصلی ، کاهش پیچیدگی سیم کشی و بهبود سرعت پاسخ ادغام می کند.
ترتیب. تضمین ضد مداخله و ثبات
محافظت از الکترومغناطیسی سه گانه TEC7HNOLOGY و طراحی منبع تغذیه جدا شده برای اطمینان از عملکرد AMAT 0100-20004 به طور پایدار در یک فرکانس رادیویی با ولتاژ بالا (RF) کار می کند و میزان خطای سیگنال کمتر از 0.001 ٪ است
3. نظارت و تشخیص فرآیند در زمان واقعی
0100-20004 موتور دستیابی به زمان واقعی در زمان واقعی از نظارت پویا و زنگ هشدار غیر طبیعی پارامترهای فرآیند (دما ، فشار ، جریان) پشتیبانی می کند ، و به آمات 0100-20004 کمک می کند تا به نگهداری پیش بینی کننده برسد و خطر خرابی تجهیزات را کاهش دهد
4. ادغام سریع و بهینه سازی سازگاری
رابط های استاندارد و پیکربندی پلاگین و بازی ، سازگار با AMAT Centura 5200 ، Endura 5500 و سایر سیستم عامل ها را ارائه دهید و چرخه اشکال زدایی تجهیزات را بیش از 30 ٪ کوتاه کنید
سناریوهای کاربردی
1. فرآیند کاشت یونی
مورد استفاده برای ادغام سیگنال محفظه از ایمپلنترهای یونی VIISTA 3000XP/900XP برای دستیابی به کنترل زاویه و کالیبراسیون دوز
2. تجهیزات رسوب فیلم نازک
جریان گاز مسیر ، قدرت RF و سیگنال های دما در سیستم CVD/PVD Centura برای اطمینان از یکنواختی فیلم
3. کنترل سیستم خلاء
اتصال خلاء ، پمپ مولکولی و واحد خنک کننده را برای نظارت بر درجه خلاء و هشدار نشت در زمان واقعی (مانند سیستم عامل Endura) وصل کنید
4. اتوماسیون انتقال ویفر
سلاح های روباتیک (مانند بازوی واکشی) و سیستم های موقعیت یابی ویفر را برای بهبود دقت انتقال و راندمان توان انجام دهید
