بسیار 0100-35054

پارامترهای فنی

نوع رابط: سازگار با اتوبوس VME ، از انتقال داده موازی 16 بیتی پشتیبانی می کند.

ولتاژ عملیاتی: 24 ولت DC 5 ٪ ، حداکثر بار جریان 2a.

دمای کار: -10 درجه سانتیگراد تا 70 درجه سانتیگراد.

سطح حفاظت: IP20.

زمان پاسخگویی به سیگنال: 5ms ≤ ، اطمینان از تحریک سریع اتصال

ویژگی های عملکردی

1. محافظت از ایمنی پیشرفته:

AMAT 0100-35054 چندین کانال ورودی سنسور را ادغام می کند ، که می توانند همزمان فشار محفظه ، جریان گاز و پارامترهای دما را کنترل کنند. پس از تشخیص مقدار بیش از حد ، منبع تغذیه بلافاصله قطع می شود و منبع خطر برای اطمینان از ایمنی تجهیزات و اپراتورها جدا می شود

2. بهینه سازی سازگاری سیستم:

0100-35054 با سیستم های کنترل Amat Endura ، Centura و سایر سری از رسوب بخار فیزیکی (PVD) و تجهیزات رسوب بخار شیمیایی (CVD) سازگار است ، و از پیکربندی پلاگین و بازی بدون نیاز به درایورهای اضافی پشتیبانی می کند.

3. ثبات و ضد مداخله:

AMAT 0100-35054 طراحی مدار اضافی و پوشش محافظ الکترومغناطیسی را اتخاذ می کند ، که می تواند صفر هشدار کاذب انتقال سیگنال را در محیط RF با ولتاژ بالا (مانند اچ کردن ICP) حفظ کند و میزان خرابی کمتر از 0.01 ٪ است.

4- قابلیت تحمل و عملکردهای تشخیصی:

نشانگر وضعیت LED پردازنده و رابط تشخیصی پشتیبانی از راه دور خواندن کد خطا. پرسنل تعمیر و نگهداری می توانند به سرعت قطعات مشکل را از طریق نرم افزار اختصاصی AMAT (مانند تولید کننده کاربردی) برای کوتاه کردن خرابی پیدا کنند

سناریوهای کاربردی

فرآیند اچینگ پلاسما:

از نظر ابعاد بالا از حافظه 3D NAND ، نظارت بر زمان واقعی فشار محفظه برای جلوگیری از تخلیه قوس ناشی از تجمع محصول انجام می شود

رسوب فیلم فلزی:

برای فرآیندهای اتصال مس (مانند Endura Alps PVD) ، نشت گاز در حین پاشیدن برای جلوگیری از آلودگی فیلم تشخیص داده می شود

فرآیند تمیز کردن اتاق:

در طول چرخه تعمیر و نگهداری تجهیزات CVD ، شروع خودکار و توقف تمیز کردن NF₃ پلاسما برای اطمینان از برداشتن کامل باقیمانده ها انجام می شود